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个人信息Personal Information
教授
硕士生导师
任职 : 三束实验室常务副主任
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理. 物理化学
办公地点：新三束实验室4号楼406
联系方式：办公电话 84709795-18
电子邮箱：zhangjl@dlut.edu.cn
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非平衡磁控溅射ICP增强电离会切磁场约束沉积技术
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负责人姓名：任春生
所属单位：大连理工大学
项目来源：国家自然科学基金项目
项目状态：完成
项目批准号：50277003
立项时间：2019-03-25
计划完成时间：2019-03-25
开始日期：2003-01-01
结项日期：2005-12-31