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个人信息Personal Information
教授
硕士生导师
任职 : 三束实验室常务副主任
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理. 物理化学
办公地点：新三束实验室4号楼406
联系方式：办公电话 84709795-18
电子邮箱：zhangjl@dlut.edu.cn
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常温下采用射频等离子体法合成碳化硅膜
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论文类型：期刊论文
发表时间：2022-06-30
发表刊物：真空
卷号：42
期号：2
页面范围：27-30
ISSN号：1002-0322
备注：新增回溯数据