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个人信息Personal Information
教授
硕士生导师
任职 : 三束实验室常务副主任
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理. 物理化学
办公地点：新三束实验室4号楼406
联系方式：办公电话 84709795-18
电子邮箱：zhangjl@dlut.edu.cn
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残余气体质谱仪的进样输运及其对定量分析的影响
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论文类型：期刊论文
发表时间：2015-04-20
发表刊物：物理实验
收录刊物：PKU
期号：4
页面范围：12-17
ISSN号：1005-4642
关键字：残余气体分析仪;输运效应;质谱峰强
摘要：使用Q M S‐200残余气体质谱分析仪，分别以空气、空气／氩气混合气体为样品，研究了质谱仪的进样输运效应。利用空气／氩气混合气体作为标准样品，进行了质谱峰强对浓度的标定，获得了分析仪对残余空气定量分析的标定关系。研究发现：由于输运过程，注入样品由于不同成分的输运速率、排空速率不同，样品不同成分在质谱仪内的量与其原始物质的量有所不同。