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个人信息Personal Information
教授
硕士生导师
任职 : 三束实验室常务副主任
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理. 物理化学
办公地点：新三束实验室4号楼406
联系方式：办公电话 84709795-18
电子邮箱：zhangjl@dlut.edu.cn
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会切磁场约束ICP增强电离的非平衡磁控溅射薄膜沉积装置
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第一作者：任春生
发明设计人：张家良,王德真,王友年
所属单位：物理学院
申请号：CN101476110
授权号：CN200910010112.4