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个人信息Personal Information
教授
硕士生导师
任职 : 三束实验室常务副主任
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理. 物理化学
办公地点：新三束实验室4号楼406
联系方式：办公电话 84709795-18
电子邮箱：zhangjl@dlut.edu.cn
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一种等离子体增强非平衡磁控溅射方法
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第一作者：徐军
发明设计人：马腾才,邓新绿,张家良,陆文祺,董闯
所属单位：物理学院
申请号：CN1338530
授权号：CN01116734.3