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论文类型： 期刊论文

发表时间： 2010-11-26

发表刊物： 吉林大学学报（理学版）

收录刊物： PKU、ISTIC、CSCD

卷号： 48

期号： 6

页面范围： 1027-1030

ISSN号： 1671-5489

关键字： B-C-N薄膜;N2流量;傅里叶变换红外光谱;射频磁控溅射

摘要： 采用射频磁控溅射方法, 分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶, 在氩气和氮气的氛围中, 沉积B-C-N薄膜. 傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析表明: 在1 200～1 800 cm-1和1 000～1 750 cm-1处出现了较宽的吸收峰;在2 200 cm-1处出现了 NC 键的特征吸收峰. 表明在沉积的薄膜中, C原子与N原子相结合. 分别溅射C和h-BN靶, 红外光谱分析表明, B-C键在1 100 cm-1处未产生吸收峰, 即利用h-BN和C靶沉积的B-C-N薄膜倾向于相分离, 利用B和C靶沉积的B-C-N薄膜中的原子实现了原子量级的化合.