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个人信息Personal Information
助理研究员
性别：男
出生日期：1995-08-22
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
办公地点：主楼东侧楼305
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Three-dimensional fluid simulation of a planar coil inductively coupled argon plasma source for semiconductor processes
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论文类型：期刊论文
论文编号：411646
发表时间：2024-11-05
发表刊物：ACTA PHYSICA SINICA
卷号：73
期号：21
ISSN号：1000-3290
CN号：11-1958/O4