|
个人信息Personal Information
助理研究员
性别：男
出生日期：1995-08-22
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
办公地点：主楼东侧楼305
联系方式：
电子邮箱：
移动版主页
A fast hybrid simulation approach of ion energy and angular distributions in biased inductively coupled Ar plasmas
点击次数：
论文类型：期刊论文
论文编号：363465
发表时间：2023-07-01
发表刊物：PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY
卷号：25
期号：7
ISSN号：1009-0630
关键字：ARGON; GLOBAL-MODEL; SHEATH
CN号：34-1187/TL