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个人信息Personal Information
助理研究员
性别：男
出生日期：1995-08-22
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
办公地点：主楼东侧楼305
联系方式：
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Fluid simulation of the electromagnetic effects in large-area very-high-frequency capacitively coupled plasmas and a method to improve the plasma radial uniformity
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论文类型：期刊论文
论文编号：584398
发表时间：2025-08-11
发表刊物：JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS
卷号：58
期号：32
ISSN号：0022-3727
关键字：LENS; NONUNIFORMITIES; SHAPED ELECTRODE; STANDING-WAVE