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个人信息Personal Information
助理研究员
性别：男
出生日期：1995-08-22
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
办公地点：主楼东侧楼305
联系方式：
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双频容性耦合Ar/CF4等离子体源的多物理场三维仿真
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论文类型：期刊论文
论文编号：586428
发表时间：2025-12-05
发表刊物：ACTA PHYSICA SINICA
卷号：74
期号：23
ISSN号：1000-3290
关键字：FLUID MODEL