教授 硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：物理楼401办公室
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发布时间：2019-03-10
论文类型：会议论文
发表时间：2011-08-08
页面范围：38-38
关键字：辉光放电;放电特性;气体放电;医疗器械;薄膜沉积;表面处理;研究工作;电子温度;泊松方程;气压变化;
摘要：射频辉光放电等离子体在材料表面处理、薄膜沉积、等离子体刻蚀、医疗器械的消毒和灭菌、臭氧合成等工业中有广泛的应用。在过去的几十年里,人们在实验上和理论上对低气压气体放电进行了深入的研究。在低气压的条件下,可以通过气体的辉光放电比较容易得到大面积稳定的等离子体。如何在大气压条件下实现廉价气体稳定的射频辉光放电,从而得到密度更高的大面积稳定的等离子体,这是一项非常有意义的研究工作。
