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论文类型： 会议论文

发表时间： 2011-08-08

页面范围： 38-38

关键字： 辉光放电;放电特性;气体放电;医疗器械;薄膜沉积;表面处理;研究工作;电子温度;泊松方程;气压变化;

摘要： 射频辉光放电等离子体在材料表面处理、薄膜沉积、等离子体刻蚀、医疗器械的消毒和灭菌、臭氧合成等工业中有广泛的应用。在过去的几十年里,人们在实验上和理论上对低气压气体放电进行了深入的研究。在低气压的条件下,可以通过气体的辉光放电比较容易得到大面积稳定的等离子体。如何在大气压条件下实现廉价气体稳定的射频辉光放电,从而得到密度更高的大面积稳定的等离子体,这是一项非常有意义的研究工作。