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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：光电工程与仪器科学学院
学科：光学工程
办公地点：物理学院233房间
联系方式：xlzhou@dlut.edu.cn
电子邮箱：xlzhou@dlut.edu.cn
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基于新型激光干涉仪的玻璃测厚实验装置
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发表时间：2020-01-01
发表刊物：实验科学与技术
所属单位：物理学院
卷号：18
期号：03
页面范围：134-139
摘要：设计了一种用于玻璃厚度测量的空间相位调制型激光干涉仪,该干涉仪主要由垂直腔面发射激光器（VCSEL）,单模光纤和线阵电荷耦合器件（CCD）组成,玻璃上、下表面的反射光产生双光束干涉,生成的空间相位调制干涉图像被CCD探测,图像的空间频率与玻璃厚度成比例,厚度测量分辨率可以达到纳米量级。该玻璃测厚教学实验装置具有体积小和成本低等优势,涉及光学干涉、激光原理、光电探测、现场可编程门阵列（FPGA）、电子电路、虚拟仪器、数字信号处理等诸多内容,适合于高年级本科生的教学实验。
备注：新增回溯数据