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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：知方楼5130
联系方式：15998535043
电子邮箱：zhuxianglong@dlut.edu.cn
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Three-point-support method based on position determination of supports and wafers to eliminate gravity-induced deflection of wafers
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发表时间：2022-10-03
发表刊物：PRECISION ENGINEERING JOURNAL OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEE
卷号：46
页面范围：339-348
ISSN号：0141-6359