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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：知方楼5130
联系方式：
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光电化学机械抛光装置设计
点击次数：
论文类型：期刊论文
论文编号：374381
发表时间：2023-02-02
发表刊物：制造技术与机床
期号：02
页面范围：40-45
ISSN号：1005-2402
关键字：GaN; phoptoelectrochemical mechanical polishing; polishing device
CN号：11-3398/TH