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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：知方楼5130
联系方式：15998535043
电子邮箱：zhuxianglong@dlut.edu.cn
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Theoretical and experimental analysis for the surface shape evolution of ultrathin workpiece considering the pad surface shape in double-sided polishing
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发表时间：2024-03-29
发表刊物：MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
卷号：169
ISSN号：1369-8001
关键字：EDGE ROLL-OFF; MATERIAL REMOVAL; ROUGHNESS