朱祥龙

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:机械工程学院

学科:机械制造及其自动化

办公地点:知方楼5130

联系方式:15998535043

电子邮箱:zhuxianglong@dlut.edu.cn

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论文成果

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Effect of aerostatic spindle dynamic characteristics on the medium frequency waviness error of silicon wafer surface

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发表时间:2024-03-29

发表刊物:INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY

ISSN号:0268-3768

关键字:MACHINE-TOOL; PERFORMANCE; TOPOGRAPHY; VIBRATION