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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
学科:机械制造及其自动化
办公地点:知方楼5130
联系方式:15998535043
电子邮箱:zhuxianglong@dlut.edu.cn
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Effect of aerostatic spindle dynamic characteristics on the medium frequency waviness error of silicon wafer surface
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发表时间:2024-03-29
发表刊物:INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY
ISSN号:0268-3768
关键字:MACHINE-TOOL; PERFORMANCE; TOPOGRAPHY; VIBRATION