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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：知方楼5130
联系方式：
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Effect of aerostatic spindle dynamic characteristics on the medium frequency waviness error of silicon wafer surface
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论文类型：期刊论文
论文编号：384235
发表时间：2024-01-10
发表刊物：INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY
卷号：130
期号：5-6
页面范围：2649-2659
ISSN号：0268-3768
关键字：MACHINE-TOOL; PERFORMANCE; TOPOGRAPHY; VIBRATION