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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：知方楼5130
联系方式：15998535043
电子邮箱：zhuxianglong@dlut.edu.cn
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半导体晶片光电化学机械抛光装置
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第一作者：董志刚
发明设计人：康仁科,欧李苇,周平,朱祥龙,时康
所属单位：机械工程学院
申请号：CN107877352A
授权号：CN201710994803.7