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    董维杰

    • 教授       硕士生导师
    • 性别:女
    • 毕业院校:大连理工大学
    • 学位:博士
    • 在职信息:在职
    • 所在单位:电气工程学院
    • 学科:电力电子与电力传动
    • 办公地点:创新园大厦B405室
    • 联系方式:0411-84706009-2405
    • 电子邮箱:dongwj@dlut.edu.cn

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    改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜

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    论文类型:会议论文

    第一作者:刘梦伟

    合写作者:佟建华,王兢,董维杰,崔天宏,王立鼎

    发表时间:2004-08-01

    发表刊物:第五届中国功能材料及其学术会议

    页面范围:3224-3227

    关键字:溶胶-凝胶;PZT薄膜;介电性能

    摘要:采用改进的溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO<,2>/Si(100)基底上制备了不同厚度的Pb(Zr<,0.50>Ti<,0.50>)O<,3>薄膜,在600℃的退火系统下获得了晶格完善的钙钛矿结构.通过前驱体溶液的差热(DTA)、热重(TGA)实验以及PZT膜加热到不同温度的物相转化分析了PZT薄膜的相结构演化过程.采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜表征了PZT薄膜的物相和微观形貌,用HP4194A阻抗分析仪测量了薄膜的介电性能.实验结果表明,随着退火循环次数的增多,PZT(111)相含量增加;薄膜的晶粒大小不随薄膜厚度改变;薄膜晶粒呈柱状生长;薄膜的介电常数测量频率的增加而降低,随薄膜厚度增加而增加.