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    董维杰

    • 教授     硕士生导师
    • 主要任职:无
    • 性别:女
    • 毕业院校:大连理工大学
    • 学位:博士
    • 在职信息:在职
    • 所在单位:电气工程学院
    • 学科:电力电子与电力传动
    • 办公地点:创新园大厦B405室
    • 联系方式:0411-84706009-2405
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    全叉指电极d33模式压电悬臂梁俘能器研究

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    论文类型:期刊论文

    第一作者:杨淑

    合写作者:董维杰,王大志,殷小林

    发表时间:2015-11-05

    发表刊物:传感器与微系统

    收录刊物:CSCD

    卷号:34

    期号:11

    页面范围:52-55

    ISSN号:1000-9787

    关键字:压电俘能器;叉指电极;d33模式;微机电系统

    摘要:为了克服表面叉指电极d33模式微机电系统(MEMS)悬臂梁振动俘能器中存在的压电材料极化不完全、存在弯曲电场等问题,提出了一种电极贯穿于整个压电层的全d33模式MEMS悬臂梁振动俘能器.根据机电耦合模型,分析了电极尺寸与材料厚度对压电俘能器输出功率的影响.优化结果表明:当硅基底厚度为20μm、电极宽度1μm时,电极间距最优范围为25~75 μm,PZT材料最优厚度为7μm,归一化后得到功率密度为34.5mWcm-3gn-2.通过在表面叉指电极d33模式俘能器的基础上增加电镀电极工艺,设计了不锈钢基底的全d33模式MEMS俘能器的工艺流程,完成了部分单元工艺.