论文名称:多晶硅定向凝固过程中温度对凝固速率的影响 论文类型:期刊论文 发表刊物:材料导报 收录刊物:PKU 卷号:33 期号:z1 页面范围:28-32 ISSN号:1005-023X 关键字:多晶硅;定向凝固;温度梯度;凝固速率 摘要:多晶硅定向凝固过程中,凝固速率是影响产品品质的重要参数,但却难以直接测量.本研究基于定向凝固过程中的热平衡关系,建立了凝固速率计算模型,研究了温度对凝固速率的影响.结果 表明,凝固过程中液固相内温度梯度比值存在规律性的变化趋势,通过该模型获得的凝固速率理论值与实验测量结果吻合度较好,可以为多晶硅定向凝固过程中凝固速率的评估和调控提供支撑. 发表时间:2019-05-25