余隽

基本信息Personal Information

副教授

博士生导师

硕士生导师

任职 : 仪器仪表学会传感器分会理事;中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事;IEEE会员

性别:女

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

在职信息:在职

所在单位:生物医学工程学院

学科:微电子学与固体电子学 生物医学工程 电路与系统

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当前位置: 余隽 >> 科学研究
  • (1)集成微气体传感器阵列芯片

    气体传感器必须在近600K的高温下工作,器件的低功耗和微型化是必然的发展方向。我们采用标准CMOS工艺与MEMS工艺相结合, 将传感器阵列与集成电路单芯片集成,研发了多款集成微气体传感器芯片,具有低功耗、高集成度、精确控温、快速调温等优点,结合多种纳米气敏材料可实现多种气体的浓度检测。

    以气体传感器阵列为核心,配套开发阵列信号处理算法,研制无线智能电子鼻系统,可灵活用于多种易燃易爆、有毒有害气体泄漏的检测。针对器件信号漂移问题,根据基线漂移特征以及传感器对突发性气体泄漏的响应特征,提出一种基线漂移自适应补偿算法并获得发明专利一项。为了提升系统的性能,在传感器设计制造、敏感材料、仿真计算、电路系统方面开展了大量研究工作。相关成果已在 Sensors and Actuators B: Chemical”、“Sensors”、“仪表技术与传感器”等学术期刊、以及“IEEE Sensors“International Meeting on Chemical Sensors等国际学术会议上发表数十篇学术论文。

     

    (2)薄膜微量热计

    微纳器件中薄膜的热参数决定着器件的热性能,但用于深亚微米厚度薄膜热容、熔点等热参数测量的研究在国内较少。我们克服传统微量热计绝热性、机械强度与加工工艺技术间的制约问题,采用表面牺牲层MEMS技术研发了新结构的单层和双层薄膜微量热计。利用薄膜量热计实现了厚度为几十纳米量级的金属薄膜热容、熔点等热特性参数的测量。此外双层薄膜量热计的两个平行悬空薄膜之间的间隙宽度在亚微米量级,将其用于近场热辐射现象的观测,测量和估算了微量热计在真空中的远场辐射热量、近场辐射热量以及传导热量,并定量计算了近场热辐射系数。相关成果分别在“Transactions of the ASME - Journal of Heat Transfer”、“Sensors”、“Chinese Physics Letters”等SCI期刊,“半导体学报”(EI)、“传感器与微系统”等中文核心期刊,以及“IEEE Sensors”、“International ASME Conference on Nanochannels, Microchannels and Minichannels”等国际学术会议上发表十余篇学术论文