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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
主要任职：光电工程与仪器科学学院院长、党委副书记
其他任职：辽宁省先进光电子技术重点实验室副主任，大连市新型功能材料与光电子器件重点实验室主任，中国超材料学会理事，中国机械工程学会极端制造分委员会委员，国际先进材料学会会士，Microsystems&Nanoengineering、chemosensors等期刊副编辑
性别：男
毕业院校：布里斯托尔大学
学位：博士
所在单位：光电工程与仪器科学学院
学科：光学工程. 电磁场与微波技术. 光学. 测试计量技术及仪器. 精密仪器及机械
办公地点：研教楼706
联系方式：0411-84706156
电子邮箱：caotun1806@dlut.edu.cn
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基于PDMS薄膜的热驱动式微阀仿真分析
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论文类型：会议论文
发表时间：2012-08-06
页面范围：254-257
关键字：热驱动微阀;结构分析;仿真分析;聚二甲基硅氧烷薄膜
摘要： 利用ANSYS10.0软件对热驱动式PDMS微阀进行了热-结构耦合仿真，分别对不同结构尺寸的加热器、腔体结构及PDMS薄膜进行仿真，得到了微阀的优化结构参数。仿真结果表明：加热器电阻条宽度与间距的减小更有利于热量的集中，当达到0.4mm以后其温度分布基本保持不变；随着腔体半径的增加，PDMS薄膜的挠度明显提高；伴随PDMS薄膜厚度的增加，薄膜的轴向位移出现不规则变化。本文的仿真结果为基于PDMS薄膜的热驱动式微阀设计提供了有价值的参考数据。