高尚

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:机械工程学院

学科:机械制造及其自动化

办公地点:机械工程学院高性能制造研究所#5015室

联系方式:手机:15104088992

电子邮箱:gaoshang@dlut.edu.cn

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科研项目

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晶圆减薄装备整机精度生成与损伤理论

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负责人姓名:康仁科

项目参与人员:高尚

项目来源:国家自然科学基金项目

项目子类:重大项目课题

项目状态:在研

项目来源单位:国家自然科学基金委员会

项目性质:纵向

项目批准号:51991372

立项时间:2019-12-02

计划完成时间:2024-12-31

开始日期:2020-01-01