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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院高性能制造研究所#5015室
联系方式：手机：15104088992
电子邮箱：gaoshang@dlut.edu.cn
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A comparative study of lapping and grinding induced surface/subsurface damage of silicon wafers and corresponding polishing efficiency
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发表时间：2022-10-04
发表刊物：International Journal of Abrasive Technology
卷号：10
期号：2
页面范围：122-133