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弹性磨抛轮加工硅片面形预测模型及试验验证
点击次数:
发表时间:
2024-04-24
发表刊物:
Surface Technology
文献类型:
J
卷号:
53
期号:
3
页面范围:
22-27
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超精密磨削 YAG 晶体的脆塑转变临界深度预测
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