论文成果
弹性磨抛轮加工硅片面形预测模型及试验验证
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  • 发表时间:2024-04-24
  • 发表刊物:Surface Technology
  • 文献类型:J
  • 卷号:53
  • 期号:3
  • 页面范围:22-27

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