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个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：微机电工程. 机械制造及其自动化. 精密仪器及机械
办公地点：大连理工大学西部校区机械学院大方楼6029
联系方式：大连理工大学机械工程学院
电子邮箱：jsliang@dlut.edu.cn
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PZT厚膜的电雾化沉积与溶胶渗透研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2018-09-29
发表刊物：机电工程技术
卷号：47
期号：9
页面范围：12-15
ISSN号：1009-9492
关键字：PZT;厚膜;电雾化沉积;溶胶渗透
摘要：制备锆钛酸铅(PZT)悬浮液,采用电雾化沉积(EHDA)技术,在硅衬底上沉积PZT厚膜,研究溶胶渗透工艺对电雾化沉积PZT厚膜的致密性与电学性能的影响.结果表明:经过2C+1S溶胶渗透工艺处理的PZT厚膜致密性与电学性能得到明显提升,在50 kHz测试频率下厚膜的残余极化强度Pr和相对介电常数εr分别由溶胶渗透前的7.3μC·cm-2和186提升为溶胶渗透后的16.1μC·cm-2和400.