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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：新三束实验室3号楼 201室
联系方式：0411-84709795-21
电子邮箱：zhaonie@dlut.edu.cn
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射频感性耦合碳氟性等离子体的放电机理和基片偏压效应的研究
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负责人姓名：赵书霞
项目来源：主管部门科技项目
项目状态：结题
项目来源单位：教育部科技发展中心
项目性质：纵向
项目批准号：20130041120054
立项时间：2013-10-28
计划完成时间：2016-12-31
开始日期：2014-01-01
结项日期：2017-05-01