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学号：20302069

所学专业：微电子学与固体电子学

学历：硕士研究生

学位：硕士

状态：毕业

毕业论文标题：多晶硅薄膜的ECR-PECVD低温沉积及特性

入学日期：2003-09-01

毕业日期：2006-06-27