1. 原子与近原子尺度制造（ACSM）: 亚纳米尺度下的材料去除与工艺、表面官能团设计与制备

2. 微纳米制造技术（Micro- and nano-manufacturing）: 微纳结构跨尺度制造方法及工艺、微纳尺度增减材制造方法与工艺、微纳传感器与执行器

3. 功能表界面设计与制备 (Design and manufacturing of functional surfaces): 微纳米功能表面设计与制备、微纳功能结构设计与性能调控