1982年1月毕业于西安电子科技大学技术物理系，毕业后一直从事大规模集成电路和半导体传感器研究。1988年进入大连理工大学先后获得硕士和博士学位。曾长期在香港科技大学、东京大学、法国斯特拉斯堡大学等合作研究微纳电子技术。负责完成了国家自然科学基金重大、重点项目、面上项目和863重点项目及企业委托项目多项。在国内外刊物和会议上发表论文290余篇，获得专利和软件著作权30余项。培养了博士研究生25名，硕士研究生79名。获得过国家技术发明奖二等奖、省科学技术奖（进步类）二等奖和省科学技术奖（自然科学类）二、三等奖各一项；第四、第五届大连市优秀专家称号，享受国务院津贴和大连市政府津贴。兼任中国仪器仪表学会仪表元件分会副理事长、中国仪器仪表学会传感器分会副理事长、中国仪器仪表行业协会传感器分会常务理事、中国仪器仪表学会工艺分会常务理事、IEEE高级会员、IEEE EDS Dalian Chapter主任。是国家奖评审专家、《电子与信息学报》、《电子器件》、《传感技术学报》、《传感器与微系统》、《仪表技术与传感器》、《黑龙江大学学报（自然科学）》等刊物的编委。