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论文类型：会议论文

发表时间：2004-08-01

页面范围：3224-3227

关键字：溶胶-凝胶;PZT薄膜;介电性能

摘要：采用改进的溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO<,2>/Si(100)基底上制备了不同厚度的Pb(Zr<,0.50>Ti<,0.50>)O<,3>薄膜,在600℃的退火系统下获得了晶格完善的钙钛矿结构.通过前驱体溶液的差热(DTA)、热重(TGA)实验以及PZT膜加热到不同温度的物相转化分析了PZT薄膜的相结构演化过程.采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜表征了PZT薄膜的物相和微观形貌,用HP4194A阻抗分析仪测量了薄膜的介电性能.实验结果表明,随着退火循环次数的增多,PZT(111)相含量增加;薄膜的晶粒大小不随薄膜厚度改变;薄膜晶粒呈柱状生长;薄膜的介电常数测量频率的增加而降低,随薄膜厚度增加而增加.