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论文类型：期刊论文

发表时间：2004-12-10

发表刊物：大连理工大学学报

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：44

期号：6

页面范围：819-823

ISSN号：1000-8608

关键字：压电陶瓷;微夹钳;电压驱动;迟滞模型

摘要：采用双晶片型压电悬臂梁制作一种双悬臂梁结构的微夹钳,可用于微操作系统中的微夹持器.在一般微操作系统中,需要外加微力传感器才能组成闭环控制系统,这必将影响夹钳的工作特性.为简化系统,借助于电荷提取电路提取压电双晶片上的电荷,并通过软件进行状态观测,可直接得到压电夹钳尖端上的夹持力,同时还能观测到夹钳尖端的位移,称其为自感知执行器.实验证明了上述自感知方法的有效性.