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论文类型：期刊论文

发表时间：2003-01-30

发表刊物：中国机械工程

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD

卷号：14

期号：2

页面范围：164-168

ISSN号：1004-132X

关键字：执行器;压电陶瓷;纳米定位;控制方法

摘要：压电陶瓷执行器在较高电场的作用下将产生严重的非线性、迟滞和蠕变,从而大大降低了它的定位精度.从控制方式、驱动方式和控制算法上,分析、总结了国内外关于纳米定位中压电陶瓷执行器的各种控制方法,进而提出:压电陶瓷执行器在静态或对频响要求不高的场合下,应采用电压驱动、电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法;而在对频响要求较高的场合下,应采用电荷驱动、电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法.