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纳米分辨近场光学显微成象技术现状

Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2000-08-25

Journal: 中国图象图形学报

Included Journals: CSCD、PKU

Volume: 5

Issue: 8

Page Number: 625-631

ISSN: 1006-8961

Key Words: 近场光学 扫描近场光学显微镜 散射-扫描近场光学显微镜 光子扫描 隧道显微镜

Abstract: 介绍了纳米分辨近场光学显微成象技术现状.近场光学显微成象技术大体可分为小孔扫描近场光学显微镜(A-SNOM)、无孔径尖散射扫描近场光学显微镜(S -SNOM)和光子扫描隧道显微镜(PSTM)三种基本类型.除介绍这三类近场光学显微镜简要成象原理、现状和各自特点外,还重点介绍了大连理工大学纳米成象技术研究组PSTM的研究进展,即PSTM消假象数值模拟和实验研究结果,其实验空间分辨首次达到2.8nm线扩展函数半高宽的水平.

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