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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:1999-02-25
Journal:电子显微学报
Included Journals:CSCD
Issue:1
Page Number:13-18
ISSN No.:1000-6281
Key Words:光子扫描隧道显微镜;探测场;假象
Abstract:本文用多层薄膜理论的费涅耳系数矩阵法导出光子扫描隧道显微镜(PSTM)探测场计算公式,公式适用于四层介质三界面和三层介质两界面两种模式.用所得公式研究了等强度扫描下表面形貌测量时由样品表面起伏引起附加的假象用π对称双激光器照射样品方法减小假象.通过数值模拟给出了在不同入射角、偏振和不同探针至样品距离条件下减小假象的效果.上述方法亦适用于PSTM测量样品折射率图像时减小由表面倾角引入的假象.
