PZT电滞曲线和回零偏差的测量及其对扫描成像的影响
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 1999-02-25
Journal: 电子显微学报
Included Journals: CSCD
Issue: 1
Page Number: 129-131
ISSN: 1000-6281
Key Words: PZT;电滞曲线;迈氏干涉仪;成像误差
Abstract: 本文利用迈氏干涉法测量压电陶瓷扫描头(PZT)的电滞曲线和灵敏度因子.作出了PZT的电滞曲线,得到了灵敏度因子,测出了由电滞特性造成的扫描头不同电压正负回零偏差,讨论了PZT的电滞特性对样品形貌图像的影响及减小误差的方法.