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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:1999-02-25
Journal:电子显微学报
Included Journals:CSCD
Issue:1
Page Number:129-131
ISSN No.:1000-6281
Key Words:PZT;电滞曲线;迈氏干涉仪;成像误差
Abstract:本文利用迈氏干涉法测量压电陶瓷扫描头(PZT)的电滞曲线和灵敏度因子.作出了PZT的电滞曲线,得到了灵敏度因子,测出了由电滞特性造成的扫描头不同电压正负回零偏差,讨论了PZT的电滞特性对样品形貌图像的影响及减小误差的方法.
