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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2002-11-01
Volume:Vol.22
Page Number:3
Key Words:PSTM;FDTD;等效入射波法
Abstract:本文提出一种简捷有效的方法,即等效入射波法分析光子扫描隧道显微镜(PSTM)。作为验证,计算了3 维情况下,形貌起伏样品和嵌埋的不同折射率样品,S 和 P 极化情况下,等高扫描面上的场分布的 PSTM 图像,并与其他方法进行比较。比较表明,时域有限差分法(FDTD)等效入射波法与其他方法已有的结果符合相当好,并具有简捷,降低对吸收边界的要求,减小网格数和计算时间等优点。
