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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2003-05-01

Journal:物理学报

Included Journals:SCIE、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:52

Issue:5

Page Number:1190-1195

ISSN No.:1000-3290

Key Words:原子力/光子扫描隧道显微镜;光纤探针;热拉伸;化学腐蚀

Abstract:提出了原子力/光子扫描隧道显微镜(AF/PSTM)系统的关键部分--双功能弯曲光纤探针的制作方法.采用热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出AF/PSTM弯曲光纤探针,弯曲角度约为150°,尖端曲率半径优于100nm,锥角范围为60°-90°.将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的AF/PSTM系统上,同时获得了样品的光学与形貌图像,实现了图像分解.