Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2003-05-01

Journal: 物理学报

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU、SCIE

Volume: 52

Issue: 5

Page Number: 1190-1195

ISSN: 1000-3290

Key Words: 原子力/光子扫描隧道显微镜;光纤探针;热拉伸;化学腐蚀

Abstract: 提出了原子力/光子扫描隧道显微镜(AF/PSTM)系统的关键部分--双功能弯曲光纤探针的制作方法.采用热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出AF/PSTM弯曲光纤探针,弯曲角度约为150°,尖端曲率半径优于100nm,锥角范围为60°-90°.将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的AF/PSTM系统上,同时获得了样品的光学与形貌图像,实现了图像分解.