Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2003-06-25

Journal: 电子显微学报

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 22

Issue: 3

Page Number: 226-228

ISSN: 1000-6281

Key Words: PSTM FDTD 等效入射波法

Abstract: 本文提出一种简捷有效的方法,即等效入射波法分析光子扫描隧道显微镜(PSTM).作为验证,计算了3维情况下,形貌起伏样品和嵌埋的不同折射率样品,S和P极化情况下,等高扫描面上的场分布的PSTM图像,并与其他方法进行比较.比较表明,时域有限差分法(FDTD)等效入射波法与其他方法已有的结果符合相当好,并具有简捷,降低对吸收边界的要求,减小网格数和计算时间等优点.