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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2003-06-25

Journal:电子显微学报

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Volume:22

Issue:3

Page Number:226-228

ISSN No.:1000-6281

Key Words:PSTM FDTD 等效入射波法

Abstract:本文提出一种简捷有效的方法,即等效入射波法分析光子扫描隧道显微镜(PSTM).作为验证,计算了3维情况下,形貌起伏样品和嵌埋的不同折射率样品,S和P极化情况下,等高扫描面上的场分布的PSTM图像,并与其他方法进行比较.比较表明,时域有限差分法(FDTD)等效入射波法与其他方法已有的结果符合相当好,并具有简捷,降低对吸收边界的要求,减小网格数和计算时间等优点.