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论文类型：期刊论文

发表时间：2003-06-25

发表刊物：电子显微学报

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD

卷号：22

期号：3

页面范围：226-228

ISSN号：1000-6281

关键字：PSTM FDTD 等效入射波法

摘要：本文提出一种简捷有效的方法,即等效入射波法分析光子扫描隧道显微镜(PSTM).作为验证,计算了3维情况下,形貌起伏样品和嵌埋的不同折射率样品,S和P极化情况下,等高扫描面上的场分布的PSTM图像,并与其他方法进行比较.比较表明,时域有限差分法(FDTD)等效入射波法与其他方法已有的结果符合相当好,并具有简捷,降低对吸收边界的要求,减小网格数和计算时间等优点.