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论文类型：期刊论文

发表时间：2003-05-01

发表刊物：物理学报

收录刊物：CSCD、ISTIC、PKU、SCIE

卷号：52

期号：5

页面范围：1190-1195

ISSN号：1000-3290

关键字：原子力/光子扫描隧道显微镜;光纤探针;热拉伸;化学腐蚀

摘要：提出了原子力/光子扫描隧道显微镜(AF/PSTM)系统的关键部分--双功能弯曲光纤探针的制作方法.采用热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出AF/PSTM弯曲光纤探针,弯曲角度约为150°,尖端曲率半径优于100nm,锥角范围为60°-90°.将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的AF/PSTM系统上,同时获得了样品的光学与形貌图像,实现了图像分解.