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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:1997-01-01
Journal:核聚变与等离子体物理
Included Journals:PKU、CSCD
Volume:17
Issue:4
Page Number:36
ISSN No.:0254-6086
Key Words:离子鞘层; 蒙特卡罗模拟
Abstract:采用蒙特卡罗方法，模拟了ＥＣＲ微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区、鞘层区，最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程。研究了鞘层边界处的衔接问题，得到了自洽电势分布和鞘层区不同位置处的速度分布、能量分布与角分布。同时，讨论了磁场对鞘势的影响。
