Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 1997-01-01

Journal: 核聚变与等离子体物理

Included Journals: CSCD、PKU

Volume: 17

Issue: 4

Page Number: 36

ISSN: 0254-6086

Key Words: 离子鞘层; 蒙特卡罗模拟

Abstract: 采用蒙特卡罗方法，模拟了ＥＣＲ微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区、鞘层区，最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程。研究了鞘层边界处的衔接问题，得到了自洽电势分布和鞘层区不同位置处的速度分布、能量分布与角分布。同时，讨论了磁场对鞘势的影响。