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等离子体源离子注入鞘层时空演化的研究

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:1995-01-01

Journal:核聚变与等离子体物理

Included Journals:PKU、CSCD

Volume:15

Issue:4

Page Number:8

ISSN No.:0254-6086

Key Words:等离子体源离子注入; 碰撞等离体鞘层; 数值计算

Abstract:本文使用流体动力学模型,研究了平板、柱形和球形靶的无碰撞及碰撞等离子体鞘层的时空演化,得到了鞘层边界演化、靶表面的离子注入电流密度和离子注入平均动能等参量。

Pre One:Numerical simulation of temporal and spatial sheath evolution in plasma source ion implantation

Next One:等离子体源离子注入球形靶的蒙特-卡罗模拟