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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:1995-01-01
Journal:自然科学进展
Included Journals:CSCD
Volume:5
Issue:1
Page Number:71
ISSN No.:1002-008X
Key Words:等离子体源离子注入; 能量分布; 蒙特卡罗模拟
Abstract:等离子体源离子注入,是将待注入的靶直接浸入等离子体源中,靶上施加一系列负高压脉冲,离子在变化的电场中获得能量后注入靶中,建立了离子的蒙特卡罗模拟模型,考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射,模拟了不同气压下氮离子(N_2~+)到达靶表面的能量分布和入射角分布。
