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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2005-09-01
Page Number:2
Key Words:等离子体发生器;气相沉积;鞘层;晶格结构;理想的范;材料加工技术;动力学模型;力控制;中性粒子;阻尼作用;
Abstract:随着等离子体材料加工技术的发展,人们已经认识到尘埃颗粒的污染已经成为诸如刻蚀、溅射、气相沉积等处理工艺中的主要问题.因此,清除等离子体发生器中的尘埃颗粒已经成为改进低气压等离子体工业加工技术的一个重要课题.而尘埃等离子体中的一种特殊状态——尘埃晶格,它作为经典流体和固体的理想的范例,尘埃等离子体在这方面的研究成为
