Release Time:2019-03-12  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2018-07-15

Journal: 真空科学与技术学报

Volume: 38

Issue: 7

Page Number: 590-597

ISSN: 1672-7126

Key Words: 双频调制;大气压气体放电;数值模拟

Abstract: 采用1-D流体模型对大气压裸金属电极结构的双频驱动氦气放电特性进行了研究.模型中考虑了氦等离子体放电过程中的6种粒子和13个基本反应过程.研究了双频调制大气压氦气放电中高低频电压、高低频频率等不同匹配方式对等离子体参数的影响,并且通过对电子密度、电场强度、电流密度以及电子加热机制等分析了大气压氦气放电双频调控机制.研究表明:高频源电压及高频源频率对放电特性的影响要大于低频源电压和频率;电子密度、电子温度等随着高频源电压和频率的增加而增加,随着低频源电压的增加而减小,低频源频率将不影响电子密度及电子温度.本文的研究为大气压气体放电提供了更多的优化等离子体参数的手段.