Hits:
Indexed by:会议论文
Date of Publication:2009-07-20
Page Number:1
Key Words:放电特性;CF_4/Ar;等离子体放电;离子密度;容性耦合;射频源;离子能量;混合气体;数值模拟;混合模型;
Abstract:文章通过建立一维和二维的混合模型,对CF_4/Ar混合气体的双频容性耦合等离子体放电进行了数值模拟。分析场分布,电子、离子密度分布,离子能量分布(IEDF)、角度分布(IADF),以及电子能量分布(EEDF)等随射频源和其它外界参数的变化规律,并
