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尘埃颗粒在射频等离子体鞘层中的非线性共振现象的理论研究

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2003-02-01

Journal:物理学报

Included Journals:SCIE、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:52

Issue:2

Page Number:434-441

ISSN No.:1000-3290

Key Words:射频鞘层;尘埃颗粒;尘埃充电;非线性共振;迟滞

Abstract:一种自洽的理论模型用于研究尘埃颗粒在射频鞘层中垂直方向的非线性共振现象.利用射频鞘层动力学模型,研究了鞘层电场和尘埃颗粒的充电过程.考虑作用在尘埃颗粒上的各种作用力(如重力、电场力、离子拖拽力、中性气体摩擦力及探针的扰动力),并通过数值求解颗粒运动方程,模拟了该尘埃颗粒在探针扰动下的非线性振荡过程.所得结果不仅很好地再现了最近的实验观察,同时还发现这种非线性振动过程与等离子体参数、施加的射频偏压的功率、探针的扰动电位和位置等有着密切的联系.

Pre One:Simulations of Ion Transport in a Collisional Radio-Frequency Plasma Sheath

Next One:碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响