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论文类型：期刊论文

发表时间：2002-06-01

发表刊物：物理学报

收录刊物：SCIE、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：51

期号：6

页面范围：1332-1337

ISSN号：1000-3290

关键字：射频放电;等离子体;离子;鞘层

摘要：考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型,并利用Monte-Carlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布.数值结果表明:随着放电气压增加,入射到电极上离子的能量分布逐渐地由双峰分布变成单峰分布,而且低能离子的数目也逐渐地增加. 入射到电极上的离子呈小角分布,而且放电气压等参数对角度分布的影响不是太明显.