王友年

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  • 教授     博士生导师   硕士生导师
  • 性别:男
  • 毕业院校:大连工学院
  • 学位:硕士
  • 所在单位:物理学院
  • 学科:等离子体物理
  • 办公地点:大连理工大学物理系楼306
  • 联系方式:0411-84707307
  • 电子邮箱:ynwang@dlut.edu.cn

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开通时间:2025.4.11

最后更新时间:2025.4.11

碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

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论文类型:期刊论文

发表时间:2002-06-01

发表刊物:物理学报

收录刊物:SCIE、PKU、ISTIC、CSCD

卷号:51

期号:6

页面范围:1332-1337

ISSN号:1000-3290

关键字:射频放电;等离子体;离子;鞘层

摘要:考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型,并利用Monte-Carlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布.数值结果表明:随着放电气压增加,入射到电极上离子的能量分布逐渐地由双峰分布变成单峰分布,而且低能离子的数目也逐渐地增加. 入射到电极上的离子呈小角分布,而且放电气压等参数对角度分布的影响不是太明显.