1. 低温等离子体物理，包括低气压放电产生等离子体的机理、等离子体的输运特性、脉冲及射频等离子体特性、以及等离子体刻蚀工艺的机理等。


2. 离子束及电磁波与物质相互作用，包括离子束及离子团在物质（固体材料、等离子体、纳米管）中的传输过程、能量损失、库仑爆炸及二次电子发射等；电磁波在微纳米结构体系（纳米管、光子晶体、低维量子电子气等）中的传播及非线性现象。